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   中導(dǎo)光電離線自動(dòng)光學(xué)檢測設(shè)備，其主要應(yīng)用于陣列面板、彩膜面板、觸摸屏面板和有機(jī)發(fā)光二極管面板的缺陷檢測，最高測量精度為1.0微米級(jí)，處于國內(nèi)先進(jìn)水平。