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   NanoPro-200系列產(chǎn)品是中導(dǎo)光電即將推向市場(chǎng)的第二代納米圖形晶圓缺陷檢測(cè)設(shè)備，其適用于65nm-0.11um工藝產(chǎn)線的IC有圖形和無圖形晶圓缺陷檢測(cè)。