2020年初,中導(dǎo)光電成功研制首臺國產(chǎn)11代線高端量測設(shè)備(CDOL:自動線寬測量機),并且于當(dāng)年7月2日正式交付TCL華星T7工廠投入使用,這是中導(dǎo)光電繼G8.5代線以下CDOL設(shè)備國產(chǎn)化之后又一重大突破,標(biāo)志著中導(dǎo)光電在填補多項國內(nèi)技術(shù)空白后,最終將平板顯示高端量測設(shè)備(CDOL)的短板全部補齊。

平板顯示制造業(yè)屬于半導(dǎo)體工業(yè),是當(dāng)代高端制造的一個戰(zhàn)略制高點,因此也是《中國制造2025》重點支持的產(chǎn)業(yè)領(lǐng)域,平板顯示設(shè)備制造業(yè)則是平板顯示制造業(yè)的基礎(chǔ)和關(guān)鍵所在,成為重中之重。由于歷史的原因,中國平板顯示設(shè)備長期被國外幾家半導(dǎo)體設(shè)備供應(yīng)商所壟斷,尤其是前段(顯示器面板在切割通電之前的工藝過程)設(shè)備,由于技術(shù)門檻高,綜合性大,制造工藝復(fù)雜,以及戰(zhàn)略意義重大等特點,一直是國外半導(dǎo)體設(shè)備供應(yīng)商爭奪的熱點,也是我國高端裝備制造的主要短板之一。
在TFT-LCD制造領(lǐng)域,由于各廠商對成本與效率指標(biāo)的追求,新產(chǎn)線投資主要向大世代方向發(fā)展,11代線是當(dāng)前世界范圍內(nèi)的最大世代產(chǎn)線。隨著產(chǎn)線工藝尺寸的大幅提升,以及就良品率指標(biāo)的進一步嚴(yán)苛,對產(chǎn)線設(shè)備的各方面技術(shù)指標(biāo)提出了更為苛刻的要求。中導(dǎo)光電研發(fā)和生產(chǎn)的一系列檢測和量測設(shè)備,正是提高產(chǎn)線良品率的、必不可少的重要生產(chǎn)設(shè)備。此次中導(dǎo)光電11代線CDOL(關(guān)鍵尺寸量測)高端設(shè)備的交付,是中導(dǎo)光電在填補多項國內(nèi)該領(lǐng)域技術(shù)空白后的又一重大技術(shù)突破。

中導(dǎo)光電成立于2006年,是一家長期專注于平板顯示高端檢測裝備研發(fā)、生產(chǎn)與銷售的高新技術(shù)企業(yè)。公司創(chuàng)始人團隊全部來自于海外頂尖半導(dǎo)體檢測裝備企業(yè),具有該領(lǐng)域豐富的研發(fā)經(jīng)驗和深厚的技術(shù)積累。企業(yè)成立至今,累計銷售各類高端檢測設(shè)備產(chǎn)品逾300余臺套,裝機范圍覆蓋中國大陸及中國臺灣數(shù)十條重要產(chǎn)線,并與京東方、TCL華星、深天馬等國內(nèi)多個主要平板顯示制造企業(yè)建立了良好合作關(guān)系。

公司核心產(chǎn)品自動光學(xué)檢查機(AOI)系列,主要應(yīng)用于平板顯示前道制程的缺陷檢測,競爭對手為以色列奧寶科技、韓國HBT等海外企業(yè)。目前,公司AOI產(chǎn)品有線陣、面陣、離線、在線等不同種類和不同世代的各種組合,種類覆蓋范圍與世界行業(yè)龍頭奧寶科技處同一水平。
中導(dǎo)光電此次交付的CDOL設(shè)備,是公司除自動光學(xué)檢測設(shè)備(AOI)系列之外的另一拳頭產(chǎn)品。該設(shè)備主要應(yīng)用于平板顯示前道制程領(lǐng)域的關(guān)鍵線寬尺寸測量,最高測量精度為亞微米級,重復(fù)精度達(dá)到20nm,處于國內(nèi)領(lǐng)先和國際先進水平。中導(dǎo)光電研發(fā)和生產(chǎn)的一系列檢測和量測設(shè)備,均是提高平面顯示屏制造廠商產(chǎn)線良品率的、必不可少的重要生產(chǎn)設(shè)備。