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       2020年12月2日，中導光電成功研制公司首臺半導體IC晶圓自動光學檢測設備（Nano Pro-100產品），這是中導光電繼FPD自動光學檢測設備國產化之后又一重大產品突破，標志著中導光電正式進入半導體IC晶圓檢測領域。

       中導光電研制成功的Nano Pro-100產品，是公司晶圓自動光學檢測設備Nano Pro系列中的第一代產品。該產品適用于0.13~0.18um工藝的IC有圖形晶圓和無圖形晶圓檢測產線，具備亮場暗場檢測功能，配置高精密自動聚焦系統、多通道成像和集成技術、8英寸及12英寸晶圓兼容設計，處于國內領先水平。